Substrat, Substrathalter, Substratbeschichtungsvorrichtung, Verfahren zur Beschichtung des Substrats und Verfahren zur Beseitigung der Beschichtung
EP3299889
Art A1
28. März 2018
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3299889
- Aktenzeichen
- EP16190865
- Anmeldetag
- 27. September 2016
- Veröffentlichung
- 28. März 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/16B05D1/18// H01L21/687
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Peters, John Antoine
Veldhoven, Niederlande
167
Patente gesamt
11
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Schwerpunkte