Optisches Integratorsystem, Optische Beleuchtungsvorrichtung, Belichtungsvorrichtung und Vorrichtungsherstellungsverfahren

EP3301503 Art A1 4. April 2018

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3301503
Aktenzeichen: EP17185703
Anmeldetag: 13. März 2008
Veröffentlichung: 4. April 2018
Rechtsraum: EP
IPC: G02B27/09G03F7/20G02B5/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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