Strukturierungsverfahren mit Mittel zur Entkoppelung der Diffusions- und Löslichkeitsschaltmechanismen von Fotolacken und nach Diesem Verfahren Gebildete Computervorrichtung

EP3304202 Art A1 11. April 2018

Anmelder: Intel Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3304202
Aktenzeichen: EP15893522
Anmeldetag: 28. Mai 2015
Veröffentlichung: 11. April 2018
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/004G03F7/38G03F7/038G03F7/039G03F7/095G03F7/20H01L21/027H01L21/311H01L21/98H01L21/768// H01L23/498

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Intel Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Intel

US-amerikanischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Kalifornien. Entwickelt und produziert Prozessoren, Chipsätze sowie weitere Halbleiterkomponenten für Computer, Server und eingebettete Systeme.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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