Überwachungsvorrichtung, Lithografische Vorrichtung und Verfahren zur Überwachung einer Veränderung einer Eigenschaft
EP3304205
Art B1
10. April 2019
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3304205
- Aktenzeichen
- EP16722836
- Anmeldetag
- 4. Mai 2016
- Veröffentlichung
- 10. April 2019
- Erteilung
- 10. April 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G01L1/24G01B11/16
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Nouwens, Johannes Wilhelmus Henricus
Veldhoven, Niederlande
7
Patente gesamt
5
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Ras, Michael Adrianus Josephus
NoneVeldhoven