Vorrichtung zur Bestrahlung mit Geladenem Teilchenstrahl und Vorrichtungsherstellungsverfahren

EP3306646 Art A1 11. April 2018

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3306646
Aktenzeichen: EP16807445
Anmeldetag: 7. Juni 2016
Veröffentlichung: 11. April 2018
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/027G03F7/20H01J37/305H01L21/68

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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