Dampfabscheideverfahren zur Bildung von Silicium- und Sauerstoffhaltigen Dünnschichten

EP3307744 Art B1 2. September 2020

Anmelder: L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3307744
Aktenzeichen
EP16808434
Anmeldetag
10. Juni 2016
Veröffentlichung
2. September 2020
Erteilung
2. September 2020
Rechtsraum
EP
IPC
C07F7/02C23C16/455C01B21/087C01B21/088C23C16/30C23C16/34C23C16/40C23C16/515
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Air Liquide

Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.

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