Mems-Kapazitiver Drucksensor und Herstellungsverfahren

EP3308122 Art A1 18. April 2018

Anmelder: Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy, Teknologian Tutkimuskeskus VTT OY 🇫🇮

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3308122
Aktenzeichen: EP16731948
Anmeldetag: 14. Juni 2016
Veröffentlichung: 18. April 2018
Rechtsraum: EP
IPC: G01L9/00G01L19/06B81B3/00B81C1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy
Teknologian Tutkimuskeskus VTT OY
Land: 🇫🇮 Finnland

🇫🇮 VTT Technical Research Centre of Finland

VTT ist eine staatliche finnische Forschungseinrichtung mit Sitz in Espoo, die angewandte Forschung und Entwicklung in Bereichen wie Technik, Energie und Materialwissenschaften betreibt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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