Verfahren zur Herstellung Nanostrukturierter Schichten

EP3308417 Art B1 3. Juli 2019

Anmelder: Forschungszentrum Jülich GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3308417
Aktenzeichen: EP16726267
Anmeldetag: 27. April 2016
Veröffentlichung: 3. Juli 2019
Erteilung: 3. Juli 2019
Rechtsraum: EP
IPC: H01M4/04C23C14/35H01M4/131H01M4/1391H01M4/58C23C14/06B82Y30/00B82Y40/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Forschungszentrum Jülich GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Forschungszentrum Jülich

Deutsche Großforschungseinrichtung der Helmholtz-Gemeinschaft mit Sitz in Jülich, gegründet 1956. Forschungsschwerpunkte sind Energie, Information und Gehirnforschung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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