Verfahren und Vorrichtung zur Korrektur von Deformationen einer Oberfläche, und Spiegel, bei dem Dieses Verfahren Und/oder Diese Vorrichtung zum Einsatz Kommt

EP3309599 Art A1 18. April 2018

Anmelder: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3309599
Aktenzeichen
EP17196077
Anmeldetag
12. Oktober 2017
Veröffentlichung
18. April 2018
Rechtsraum
EP
IPC
G02B26/08H01L41/04H01L41/09
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)

Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.

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