Auswählen eines Satzes von Standorten, die einer Messung oder Funktion auf einem Substrat Zugeordnet Sind
EP3309617
Art A1
18. April 2018
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3309617
- Aktenzeichen
- EP16193903
- Anmeldetag
- 14. Oktober 2016
- Veröffentlichung
- 18. April 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F9/02G03F7/207G03F9/00G03F7/00G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
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Fachgebiete
Vertreten von
Peters, John Antoine
Veldhoven, Niederlande
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