Inhärent Selektive Vorläufer zur Abscheidung von Übergangsmetalldünnschichten der Zweiten oder Dritten Reihe

EP3310788 Art A1 25. April 2018

Anmelder: INTEL Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3310788
Aktenzeichen: EP15895814
Anmeldetag: 18. Juni 2015
Veröffentlichung: 25. April 2018
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/18C23C16/04C07F1/02H01L21/205C07F1/00H01L21/768

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: INTEL Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Intel

US-amerikanischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Kalifornien. Entwickelt und produziert Prozessoren, Chipsätze sowie weitere Halbleiterkomponenten für Computer, Server und eingebettete Systeme.

26.645 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie

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