Selbstzentrierendes Waferträgersystem zur Chemischen Dampfabscheidung

EP3311396 Art A1 25. April 2018

Anmelder: Veeco Instruments Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3311396
Aktenzeichen
EP16815048
Anmeldetag
10. Juni 2016
Veröffentlichung
25. April 2018
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/205H01L21/68H01L21/677H01L21/02H01L21/687C23C16/458
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Veeco Instruments Inc.
Land
🇺🇸 USA

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik
Vertreten von
Noronha, Catherine London, Großbritannien
22
Patente gesamt
14
Fachgebiete
7
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Nachrichtentechnik & Telekommunikation Medizintechnik & Gesundheit Metallurgie & Oberflächentechnik Straßen-, Wasser- & Tiefbau Landwirtschaft & Nahrungsmitteltechnik
Zum Anwaltsprofil
Weitere Vertreter

Noch Fragen?

Wir helfen Ihnen gerne weiter. Schreiben Sie uns einfach.

Kontakt aufnehmen