Flussänderungsvorrichtung für das Frontendmodul einer Vorrichtung
EP3311402
Art B1
30. Dezember 2020
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3311402
- Aktenzeichen
- EP16733257
- Anmeldetag
- 14. Juni 2016
- Veröffentlichung
- 30. Dezember 2020
- Erteilung
- 30. Dezember 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/67H01L21/677
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
899 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Bumke, Jakob Wenzel
Cheddar, Großbritannien
271
Patente gesamt
29
Fachgebiete
14
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Greaves Brewster LLP
Greaves Brewster LLP · Cheddar