Vorrichtung und Verfahren zur Steuerung eines Phasenübergangs einer Flüssigkeit zwischen Flüssig- und Dampfzuständen

EP3313544 Art A1 2. Mai 2018

Anmelder: Edwards Limited 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3313544
Aktenzeichen
EP16724964
Anmeldetag
23. Mai 2016
Veröffentlichung
2. Mai 2018
Rechtsraum
EP
IPC
B01D1/00B01D1/04B01D5/00F28D15/02F28D15/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Edwards Limited
Land
🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧 Edwards Limited

Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.

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