Bestimmungsvorrichtung, Bestimmungsprogramm, Bestimmungsverfahren, Zellschichtherstellungsvorrichtung und Zellschichtherstellungsverfahren

EP3315595 Art A1 2. Mai 2018

Anmelder: Nikon Corporation, Tokyo Women's Medical University 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3315595
Aktenzeichen
EP16814127
Anmeldetag
2. Juni 2016
Veröffentlichung
2. Mai 2018
Rechtsraum
EP
IPC
G01N21/65C12M1/34
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Nikon Corporation
Tokyo Women's Medical University
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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