Düse für eine Verteilungsanordnung einer Materialabscheidungsquellenanordnung, Vakuumbeschichtungssystem und Verfahren zum Abscheiden von Material

EP3317433 Art A1 9. Mai 2018

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3317433
Aktenzeichen: EP16770024
Anmeldetag: 22. September 2016
Veröffentlichung: 9. Mai 2018
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/12C23C14/24C23C14/56C23C16/455

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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