Haltevorrichtung für Halbleiterscheiben

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP3319117

Aktenzeichen

EP17199696

Anmeldetag

2. November 2017

Veröffentlichung

4. August 2021

Erteilung

4. August 2021

Rechtsraum

EP

IPC

H01L21/67H01L21/673

Abstract

L'invention est relative à un dispositif (1) pour le maintien de plaques comportant chacune un matériau semi-conducteur et présentant chacune des première et deuxième faces, ledit dispositif (1) comportant un premier organe (2) et un deuxième organe (3). Le dispositif (1) comporte, dans une configuration d'assemblage du dispositif : - le premier organe (2) assemblé au deuxième organe (3) de sorte à délimiter une pluralité de cadres de maintien (4) définissant chacun un emplacement (5) destiné à la réception d'un couple de plaques à maintenir, dont les premières faces sont orientées l'une vers l'autre, chaque cadre de maintien (4) étant adjacent à au moins un autre cadre de maintien (4), - pour chaque couple de cadres de maintien (4) adjacents, un passage (6) reliant, entre lesdits cadres de maintien (4) adjacents, l'extérieur du dispositif à un espace (7) séparant les emplacements définis par lesdits cadres de maintien (4) adjacents.

Anmelder

Firma

COMMISSARIAT À L'ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES

Land

🇫🇷 Frankreich

Fachgebiete