Träger zur Unterstützung von mindestens einem Substrat Während eines Sputterabscheidungsverfahrens, Vorrichtung zur Sputterabscheidung auf mindestens ein Substrat und Verfahren zur Sputterabscheidung auf mindestens ein Substrat

EP3320125 Art A1 16. Mai 2018

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3320125
Aktenzeichen: EP15739534
Anmeldetag: 6. Juli 2015
Veröffentlichung: 16. Mai 2018
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/50C23C14/56H01J37/32C23C14/34

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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