Formulierungen zum Selektiven Ätzen von Silicium-Germanium in Bezug auf Germanium
EP3320562
Art B1
28. August 2024
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3320562
- Aktenzeichen
- EP16821958
- Anmeldetag
- 7. Juli 2016
- Veröffentlichung
- 28. August 2024
- Erteilung
- 28. August 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/306
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
899 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
-
Greaves Brewster LLP
Greaves Brewster LLP · Cheddar