Verfahren zur Messung eines Parameters eines Vorrichtungsherstellungsverfahrens, Metrologievorrichtung, Substrat, Ziel, Vorrichtungsherstellungssystem und Vorrichtungsherstellungsverfahren
EP3321738
Art A1
16. Mai 2018
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3321738
- Aktenzeichen
- EP16198272
- Anmeldetag
- 10. November 2016
- Veröffentlichung
- 16. Mai 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Peters, John Antoine
Veldhoven, Niederlande
167
Patente gesamt
11
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Schwerpunkte