Verfahren zum Abscheiden einer Graphenbasierten Schicht auf einem Substrat mittels Pecvd

EP3322834 Art B1 28. August 2019

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3322834
Aktenzeichen: EP16738183
Anmeldetag: 13. Juli 2016
Veröffentlichung: 28. August 2019
Erteilung: 28. August 2019
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/14C23C14/35C23C16/26C23C16/503

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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