Verfahren zum Herstellen eines Spiegels, insbesondere für eine Mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage
EP3323019
Art B1
12. Januar 2022
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3323019
- Aktenzeichen
- EP16734227
- Anmeldetag
- 22. Juni 2016
- Veröffentlichung
- 12. Januar 2022
- Erteilung
- 12. Januar 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G21K1/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
1.949 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Frank, Hartmut
Mülheim a. d. Ruhr, Deutschland
103
Patente gesamt
19
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte