Elektrodenanordnung für eine Plasmaquelle mit Dielektrischer Sperrschichtentladung und Verfahren zur Herstellung Solch einer Elektrodenanordnung

EP3323139 Art B1 7. Oktober 2020

Anmelder: Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3323139
Aktenzeichen: EP16751032
Anmeldetag: 15. Juli 2016
Veröffentlichung: 7. Oktober 2020
Erteilung: 7. Oktober 2020
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/32C23D5/04H05H1/24

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 TNO (Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk onderzoek)

Niederländisches, unabhängiges Forschungsinstitut für angewandte Naturwissenschaften mit Sitz in Den Haag. TNO betreibt anwendungsorientierte Forschung und Entwicklung in Bereichen wie Energie, Mobilität, Gesundheit, Verteidigung und Informationstechnologie.

3.163 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von