Transportrolle

EP3324426 Art B1 5. Mai 2021

Anmelder: MKS IP Association, Atotech Deutschland GmbH & Co. KG, Atotech Deutschland GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3324426
Aktenzeichen: EP16199129
Anmeldetag: 16. November 2016
Veröffentlichung: 5. Mai 2021
Erteilung: 5. Mai 2021
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/67H01L21/677

Abstract

The present invention refers to a new type of transport roller providing a modified surface to provide improved transport properties for new substrates. Furthermore, it refers to horizontal transport systems beneficially utilizing such transport rollers, especially for providing retaining roller pairs. Additionally, the present invention refers to a treatment device containing such transport roller or horizontal transport system. Furthermore, it refers to a method for treating a substrate and the use of such transport roller.

Anmelder

Firmen: MKS IP Association
Atotech Deutschland GmbH & Co. KG
Atotech Deutschland GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 MKS IP Association

Der Anmelder MKS IP Association ist eine in Deutschland ansässige Patentverwertungsgesellschaft. Das Portfolio konzentriert sich auf Metallurgie und Oberflächentechnik sowie Elektronik- und Halbleitertechnik, etwa im Bereich industrieller Reinigungs- und Beschichtungsprozesse. Anmeldungen erfolgten von 2000 bis 2020.

482 Patente in unserer Datenbank

🇩🇪 Atotech Deutschland

Atotech Deutschland ist ein deutscher Anbieter von Oberflächenveredelungschemie, unter anderem für die Elektronik- und Halbleiterindustrie, und gehört zum US-Konzern MKS Instruments. Das Patentportfolio konzentriert sich deutlich auf Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt durch Elektronik und Halbleitertechnik. Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2025.

545 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von