Vorrichtung zum Evakuieren eines Korrosiven Abgasstroms aus einer Verarbeitungskammer
EP3325134
Art B1
2. September 2020
Anmelder: Edwards Limited 🇬🇧
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3325134
- Aktenzeichen
- EP16731262
- Anmeldetag
- 15. Juni 2016
- Veröffentlichung
- 2. September 2020
- Erteilung
- 2. September 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B01D53/68B01D53/75C23C16/44F04C19/00H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Edwards Limited
- Land
- 🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧
Edwards Limited
Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.
524 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Norton, Ian Andrew
Burgess Hill, Großbritannien
310
Patente gesamt
18
Fachgebiete
6
Anmelder-Länder
Schwerpunkte