Verfahren zur Durchführung von Dosismodulierung, insbesondere für Elektronenstrahllithographie
EP3326192
Art A1
30. Mai 2018
Anmelder: Applied Materials, Inc., Aselta Nanographics 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3326192
- Aktenzeichen
- EP16744685
- Anmeldetag
- 19. Juli 2016
- Veröffentlichung
- 30. Mai 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/302H01J37/317
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- Applied Materials, Inc.
Aselta Nanographics - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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Fachgebiete
Kanzlei
Marks & Clerk France
Arcueil, Frankreich
Der Standort in Arcueil bei Paris firmierte als Marks & Clerk France, 2005 gegründet, Schwerpunkt europäische Patente in Elektronik, Informatik und Telekommunikation. 2022 von der Vidon-Gruppe übernommen und als Atout[PI] Laplace weitergeführt, einer der größten französischen IP-Beratungsverbünde.
3.434
Patente gesamt
8
Patentanwälte
1
Standorte
Weitere Vertreter
-
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Zimmermann & Partner Patentanwälte mbB · München