Verfahren zur Formung einer Materialschicht aus Übergangsmetalldichalkogenid, Tmdc

EP3327169 Art A1 30. Mai 2018

Anmelder: IMEC VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3327169
Aktenzeichen: EP16200242
Anmeldetag: 23. November 2016
Veröffentlichung: 30. Mai 2018
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/00C23C14/06C23C14/30C23C14/54H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC VZW
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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