Verfahren, Vorrichtung und System zur Holografischen Wellenfrontmessung

EP3327413 Art B1 27. April 2022

Anmelder: IMEC VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3327413
Aktenzeichen: EP16200570
Anmeldetag: 24. November 2016
Veröffentlichung: 27. April 2022
Erteilung: 27. April 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G01J9/02G03H1/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC VZW
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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