Belichtungsvorrichtung, Belichtungsverfahren und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung

EP3327507 Art B1 3. April 2019

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3327507
Aktenzeichen: EP17206968
Anmeldetag: 21. Februar 2007
Veröffentlichung: 3. April 2019
Erteilung: 3. April 2019
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20H01L21/027G03F7/207G03F9/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

3.320 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

Vertreten von