Segmentierter Detektor für Vorrichtung mit Geladenem Teilchenstrahl

EP3329507 Art A1 6. Juni 2018

Anmelder: FEI Company 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3329507
Aktenzeichen
EP16833516
Anmeldetag
22. Juli 2016
Veröffentlichung
6. Juni 2018
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/244H01J37/28H01J37/26H01J37/22G01N21/64
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FEI Company
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

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