Verfahren zum Wechseln eines Ätzparameters
EP3330797
Art A1
6. Juni 2018
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3330797
- Aktenzeichen
- EP16201848
- Anmeldetag
- 2. Dezember 2016
- Veröffentlichung
- 6. Juni 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20H01L21/30H01L21/67H01L21/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Peters, John Antoine
Veldhoven, Niederlande
167
Patente gesamt
11
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Schwerpunkte