Dotierungsgaszusammensetzung
EP3333881
Art A3
25. Juli 2018
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3333881
- Aktenzeichen
- EP17191409
- Anmeldetag
- 26. Februar 2011
- Veröffentlichung
- 25. Juli 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/265H01J37/317H01J37/08
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
899 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Glansdorp, Freija Gwendolyn
Cheddar, Großbritannien
98
Patente gesamt
23
Fachgebiete
6
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Greaves Brewster LLP
Greaves Brewster LLP · Cheddar