Passivierung von Germaniumoberflächen

EP3335238 Art A1 20. Juni 2018

Anmelder: Entegris, Inc., Entegris Asia LLC, Atmi Taiwan Co., Ltd. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3335238
Aktenzeichen
EP16837590
Anmeldetag
12. August 2016
Veröffentlichung
20. Juni 2018
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/306H01L21/316H01L21/28
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
Entegris, Inc.
Entegris Asia LLC
Atmi Taiwan Co., Ltd.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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