Pyrolysatadsorber aus Mikrokristalliner Cellulose sowie Verfahren zur Herstellung und Verwendung davon

EP3337606 Art A1 27. Juni 2018

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3337606
Aktenzeichen
EP16839909
Anmeldetag
19. August 2016
Veröffentlichung
27. Juni 2018
Rechtsraum
EP
IPC
B01J20/20B01J20/24B01J20/28B01J20/26H01L21/02H01L31/18B01J20/30
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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