Einzelwafer-Echtzeit-Ätzraten- und Gleichförmigkeitsprädiktor für Plasmaätzprozesse
EP3338294
Art B1
22. Mai 2019
Anmelder: Microchip Technology Incorporated 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3338294
- Aktenzeichen
- EP16760858
- Anmeldetag
- 22. August 2016
- Veröffentlichung
- 22. Mai 2019
- Erteilung
- 22. Mai 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Microchip Technology Incorporated
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Microchip Technology
US-amerikanischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Chandler, Arizona, bekannt für Mikrocontroller und analoge Halbleiterbauelemente.
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Fachgebiete
Vertreten von
-
sgb europe
sgb europe · Hohenschäftlarn