Siliciumcarbid/graphit-Verbundstoff und daraus Hergestellte Artikel und Anordnungen

EP3338306 Art A1 27. Juni 2018

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3338306
Aktenzeichen
EP16837827
Anmeldetag
18. August 2016
Veröffentlichung
27. Juni 2018
Rechtsraum
EP
IPC
H01L29/16H01L21/02H01L21/324C04B41/87C04B35/52C04B41/00C04B41/50C04B111/00C01B32/20C01B32/956
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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