Substrattransportvorrichtung

EP3341959 Art B8 8. Juni 2022

Anmelder: Brooks Automation US, LLC, Brooks Automation Holding, LLC, Brooks Automation, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3341959
Aktenzeichen
EP16824976
Anmeldetag
11. Juli 2016
Veröffentlichung
8. Juni 2022
Erteilung
8. Juni 2022
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/677B25J21/00B25J9/12B25J9/04// H01L21/67
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Brooks Automation US, LLC
Brooks Automation Holding, LLC
Brooks Automation, Inc.
Land
🇺🇸 USA

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Vertreten von
Schmit, Christian Marcel Jean Bordeaux, Frankreich
79
Patente gesamt
23
Fachgebiete
5
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Maschinenelemente & Fluidtechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Fahrzeugtechnik (Automobil, Bahn & Schiff) Luft- & Raumfahrttechnik Elektrische Energietechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
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