Ausgangsmaterial für Chemische Dampfabscheidung mit einem Binuklearen Rutheniumkomplex und Verfahren zur Chemischen Dampfabscheidung mit Verwendung des Ausgangsmaterials für Chemische Dampfabscheidung

EP3342899 Art A1 4. Juli 2018

Anmelder: Tanaka Kikinzoku Kogyo K.K. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3342899
Aktenzeichen: EP16839260
Anmeldetag: 23. August 2016
Veröffentlichung: 4. Juli 2018
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/285H01L21/28C07F15/00C23C16/16C23C16/18

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tanaka Kikinzoku Kogyo K.K.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tanaka Kikinzoku Kogyo

Tanaka Kikinzoku Kogyo ist ein japanisches Unternehmen für Edelmetallverarbeitung mit Sitz in Tokio. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Metallurgie und Oberflächentechnik sowie Halbleiter und elektrische Bauelemente, ergänzt um Fertigungs- und Verfahrenstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2023 ab.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie

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