Verfahren zur Formung einer Ferroelektrischen Pzt-Schicht

EP3343654 Art B1 15. April 2020

Anmelder: Japan Advanced Institute of Science and Technology, Mitsubishi Materials Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3343654
Aktenzeichen: EP16841708
Anmeldetag: 26. August 2016
Veröffentlichung: 15. April 2020
Erteilung: 15. April 2020
Rechtsraum: EP
IPC: H01L41/318H01L21/316H01L41/187H01L41/43

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Japan Advanced Institute of Science and Technology
Mitsubishi Materials Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Materials

Japanisches Unternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Sitz in Tokio, tätig in der Verarbeitung von Metallen und Werkstoffen, unter anderem Kupfer, Zement, Hartmetallwerkzeuge und elektronische Materialien.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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