Optische Systeme und Verfahren zur Charakterisierung von High-K-Dielektrika

EP3344972 Art B1 14. Dezember 2022

Anmelder: California Institute of Technology 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3344972
Aktenzeichen: EP16843152
Anmeldetag: 2. September 2016
Veröffentlichung: 14. Dezember 2022
Erteilung: 14. Dezember 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G01N21/63G01N21/27H01L29/40G01R31/26H01L21/66// G01N21/95G01R31/265

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: California Institute of Technology
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 California Institute of Technology

Private Forschungsuniversität in Pasadena, Kalifornien (USA), mit Schwerpunkt auf Naturwissenschaften und Ingenieurwesen. Sie betreibt unter anderem das Jet Propulsion Laboratory und zählt zu den weltweit führenden Technikhochschulen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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