Stickstoffhaltige Verbindungen zum Ätzen von Halbleiterstrukturen

EP3345211 Art B1 10. Dezember 2025

Anmelder: L'Air Liquide, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude, L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3345211
Aktenzeichen
EP16770815
Anmeldetag
30. August 2016
Veröffentlichung
10. Dezember 2025
Erteilung
10. Dezember 2025
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/311C07C251/08C07C251/26C07C255/10
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
L'Air Liquide, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
Land
🇫🇷 Frankreich

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Organische Chemie
Vertreten von
Grout de Beaufort, François-Xavier Paris, Frankreich
183
Patente gesamt
20
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie Halbleiter & Elektrische Bauelemente Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Anorganische Chemie & Werkstoffe Verfahrens- & Trenntechnik
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