Oberflächenformmessvorrichtung, Oberflächenformmessverfahren und Oberflächenformmessprogramm

EP3346232 Art B1 28. Februar 2024

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3346232
Aktenzeichen: EP16841933
Anmeldetag: 31. August 2016
Veröffentlichung: 28. Februar 2024
Erteilung: 28. Februar 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G01B11/24G01B11/245G01B21/04G01B21/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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