Optische Verarbeitungsvorrichtung, Beschichtungs-/entwicklungsvorrichtung, Optisches Verarbeitungsverfahren und nicht Transitorisches Computerlesbares Speichermedium

EP3346337 Art B1 4. September 2019

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3346337
Aktenzeichen: EP17207286
Anmeldetag: 14. Dezember 2017
Veröffentlichung: 4. September 2019
Erteilung: 4. September 2019
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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