Belichtungsverfahren und Belichtungsvorrichtung und Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements

EP3346486 Art A1 11. Juli 2018

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3346486
Aktenzeichen: EP18157586
Anmeldetag: 18. November 2005
Veröffentlichung: 11. Juli 2018
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/027G01B11/00G03F7/20H01L21/68

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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