Selektive Nitridaufschlämmungen mit Verbesserter Stabilität und Verbesserten Poliereigenschaften

EP3347428 Art B1 19. April 2023

Anmelder: CMC Materials, Inc., Cabot Microelectronics Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3347428
Aktenzeichen: EP16844893
Anmeldetag: 29. August 2016
Veröffentlichung: 19. April 2023
Erteilung: 19. April 2023
Rechtsraum: EP
IPC: C09K3/14C09G1/02C08K3/22B24B37/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: CMC Materials, Inc.
Cabot Microelectronics Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cabot Microelectronics

Cabot Microelectronics war ein US-amerikanischer Hersteller von Polierchemikalien für die Halbleiterfertigung und ist heute Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben, Klebstoffe und Brennstoffe sowie Halbleiterbauelemente, mit Bezug zur Werkzeug- und Fertigungstechnik. Die Anmeldungen bis 2019 betreffen unter anderem CMP-Zusammensetzungen für die Chip-Planarisierung.

290 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Kunststoff- & Polymertechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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