Verfahren und System zur Bestimmung eines Überlagerungs- oder Ausrichtungsfehlers zwischen einer Ersten und einer Zweiten Bauelementeschicht eines Mehrschichtigen Halbleiterbauelements

EP3349016 Art A1 18. Juli 2018

Anmelder: Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3349016
Aktenzeichen: EP17151427
Anmeldetag: 13. Januar 2017
Veröffentlichung: 18. Juli 2018
Rechtsraum: EP
IPC: G01Q60/24H01L21/66G03F7/20G01Q60/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 TNO (Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk onderzoek)

Niederländisches, unabhängiges Forschungsinstitut für angewandte Naturwissenschaften mit Sitz in Den Haag. TNO betreibt anwendungsorientierte Forschung und Entwicklung in Bereichen wie Energie, Mobilität, Gesundheit, Verteidigung und Informationstechnologie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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