Leckdetektion Beim Evakuieren einer Prüfkammer oder eines Prüflings

EP3350561 Art B1 29. April 2020

Anmelder: Inficon GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3350561
Aktenzeichen
EP16763283
Anmeldetag
12. September 2016
Veröffentlichung
29. April 2020
Erteilung
29. April 2020
Rechtsraum
EP
IPC
G01M3/32
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Inficon GmbH
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Inficon

Inficon ist ein Hersteller von Mess- und Analysegeräten für Vakuum- und Gasanwendungen mit Wurzeln in der Schweiz. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Halbleiter- und Metallurgietechnik. Die Titel betreffen unter anderem Bildverarbeitung für die Prozessendpunkterkennung und Sprühvorrichtungen für Prüfgas.

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