Verfahren zur Übertragung von Monokristallinen Pads

EP3350828 Art B1 30. Oktober 2019

Anmelder: Soitec 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3350828
Aktenzeichen: EP16781505
Anmeldetag: 19. September 2016
Veröffentlichung: 30. Oktober 2019
Erteilung: 30. Oktober 2019
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/762C30B25/18C30B33/06H01S5/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Soitec
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Soitec

Französischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Bernin, spezialisiert auf Silicon-on-Insulator (SOI) Substrate. Patente decken Halbleitermaterialien und Waferbondtechnik ab.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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