Herstellungsverfahren einer Mems- Und/oder Nems-Struktur mit wenigstens Zwei über einem Substrat Aufgehängten Elementen mit Unterschiedlichen Abständen zum Substrat
EP3351504
Art B1
18. September 2019
Anmelder: Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3351504
- Aktenzeichen
- EP18152246
- Anmeldetag
- 18. Januar 2018
- Veröffentlichung
- 18. September 2019
- Erteilung
- 18. September 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B81C1/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives
- Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
Die Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives (CEA) ist eine französische staatliche Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt Kernenergie, alternative Energien und Grundlagenforschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Software, Energietechnik und Werkstoffkunde. Anmeldungen sind seit 2000 durchgehend belegt.
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