Ätzlösung für Wolfram- und Gst-Filme
Anmelder: Versum Materials US, LLC 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3351658
- Aktenzeichen
- EP18152899
- Anmeldetag
- 23. Januar 2018
- Veröffentlichung
- 9. Februar 2022
- Erteilung
- 9. Februar 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23F1/38C23F1/40H01L45/00
Abstract
Described herein is an etching solution suitable for both tungsten-containing metals and GST metals, which comprises: water; at least one phenolic derivative compound having at least two hydroxyl groups; at least one strong base selected from the group consisting of (i) a quaternary base; (ii) an organic amine; and (iii) a metal hydroxide; optionally an ammonium salt of an organic acid; and optionally a water-miscible solvent, wherein the pH of the etching solution is 10 or greater, and wherein the etching solution is substantially free of a peroxide oxidizer and a metal ion-containing oxidizer.
Anmelder
- Firma
- Versum Materials US, LLC
- Land
- 🇺🇸 USA
Versum Materials US, LLC war ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und -gasen für die Halbleiterfertigung, der 2019 von Merck KGaA übernommen wurde. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Oberflächentechnik, ergänzt um Farben, Klebstoffe und organische Chemie. Anmeldungen erfolgten zwischen 2002 und 2025.
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ANDREA | SOMMER Patentanwälte Partnerschaft mbB mit Sitz in München, in direkter Nähe zum Europäischen Patentamt. Vertritt vor EPA, EUIPO und WIPO mit Schwerpunkten in Chemie und Pharmazie, berät von Einzelerfindern und Start-ups bis zu internationalen Konzernen.
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Andrae Westendorp Patentanwälte Partnerschaft
Andrae Westendorp Patentanwälte Partnerschaft · München